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扫描振镜电机与扫描电镜结构中的真空系统起到了关键的作用，主要原因如下：
1、扫描电镜的工作原理需要利用电子束对样品进行扫描，而电子束在空气中的散射效应会严重影响成像质量，为了保持电子束的稳定性和提高成像质量，需要在扫描电镜内部建立一个高真空的环境。
2、真空系统有助于防止样品受到污染和氧化，在电镜观察过程中，如果样品暴露在空气中，可能会受到气体分子的碰撞，导致表面污染或氧化，从而影响观察结果，真空系统可以有效地隔离这些外部因素，保护样品的完整性。
3、扫描振镜电机在高速运转时，需要稳定的工作环境以保证其性能，真空系统可以排除外部干扰，如空气流动和温度变化等，为电机提供一个稳定的运行环境，真空系统还可以减少电机内部的热传导损失，提高其工作效率。
4、在扫描电镜中，真空系统与其他部件如电子枪、电磁透镜等协同工作，共同实现高质量成像，真空系统中的某些部件可以帮助调节电子束的能量和聚焦，从而优化成像效果。
扫描振镜电机与扫描电镜结构中的真空系统是为了创造一个稳定、无污染的工作环境，以保证电子束的稳定性、提高成像质量、保护样品完整性以及优化系统性能。